16.1 一般规定

　　16.1.1 本章的工程检验程序和项目适用于洁净室工程调试、工程验收、使用验收时的检验和委托方(用户)要求的单项性能测定，以及日常例行检验和监测。

　　16.1.2 检验时洁净室的占用状态区分如下：工程调整测试应为空态，工程验收的检验和日常例行检验应为空态或静态，使用验收的检验和监测应为动态。当有需要时也可经建设方(用户)和检验方协商确定检验状态。

　　16.1.3 工艺设备运行而无人的静态检验，适用于自动操作、自动生产和不需要人或不能有人在场的稳定环境。

　　工艺设备不运行且无人的静态检验，适用于现场为手动操作、管理的环境。

　　16.1.4 测洁净度级别时检验人员应保持最低数量，必须穿洁净工作服，测微生物浓度时必须穿无菌服、戴口罩。测定人员应位于下风向，尽量少走动。

　　16.1.5 检验报告包括委托检验报告和鉴定检验报告，报告中应包括被检验对象的基本情况即建设方(用户)，施工方、施工时间、竣工时间和占用状态，还应包括检验机构名称、检验人员、检验仪器名称、检验仪器编号和标定情况、检验依据和检验起止时间，根据需要提出的意见和解释，给出符合或不符合规范或要求的结论。如检验方法对标准方法有偏差或增删，检验报告应对偏差、增删以及特殊条件作出说明。

　　16.2 检验项目及方法

　　16.2.1 洁净室在高效过滤器现场检漏后的必测项目，应符合表16.2.1的要求，也可由该表选择选测项目。

　　注：“必测项目”是指不论何种洁净室及相关受控环境在静态条件下验收、鉴定检验时必须测定的项目，不得少测。“必要时测项目”是指有检查该项性能要求时选测的项目。动态监测时可在以上两项中选择测定项目。

　　16.2.2 检验之前，应对所测环境作彻底清洁，但不得使用一般吸尘机吸尘。擦拭人员应穿洁净工作服，清洗剂可根据场合选用纯化水、有机溶剂、中性洗涤剂或自来水。

　　16.2.3 检验项目首先宜测风速、风量、静压，然后检漏，再测洁净度。在其他必测项目测完并完成表面消毒后测定细菌浓度，测定细菌浓度前不得进行空气消毒。最后测定选测项目。

　　16.2.4 表16.2.1中的检验项目应按所列附录的方法进行检验。

　　当有明显理由不便执行本规范的检验方法时，可经委托方(用户)和检验方双方协商用其他方法，并载入协议。

　　16.3 检验周期

　　16.3.1 在工程验收后为确认洁净室的必测项日符合要求的日常检验周期，可按表16.3.1确定。

　　16.3.2 在工程验收后为确认洁净室的选测项目符合要求的日常检验(不含临时抽测)周期可按表16.3.2确定。

　　16.3.3 有下列原因之一者，应重新进行静态性能验收检验：

　　1 对系统采取措施进行改动的。

　　2 严重背离现行性能条件的。

　　3 风系统重大故障，影响运行的。

　　4 严重影响设施运行的特殊维修之后。

　　16.4 性能检验

　　16.4.1 风量和风速应按附录E检验，应符合下列规定：

　　1 非单向流洁净室应按附录E检验，结果应符合以下规定：

　　系统的各项实测风量及换气次数应大于各自的设计风量或换气次数，但不应超过20%;

　　室内各风口的风量与各风口设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

　　2 单向流洁净室应按附录E检验，结果应符合以下规定：

　　实测室内平均风速应大于设计风速，但不应超过15%;

　　实测室内新风量应大于设计新风量，但不应超过10%。

　　16.4.2 当需对室内单向流品质作细致确认时，可测工作区(或规定高度)截面风速不均匀度。风速不均匀度应按附录E检验，并按下式计算，结果不应大于0.25。

　　16.4.3 静压差应按附录E检验，并应符合下列规定：

　　1 压差值应符合被测对象压差控制标准的要求。

　　2 洁净度为5级或更高的单向流洁净室，开门状态下的出入口的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。

　　3 有不可关闭开口两边的洁净室，以开口风速代替两室压差，开口处从高级别向低级别的风速或按设计、工艺要求从一室流向另一室的风速应符合设计要求。当设计无明确要求时，不应小于0.25m/s。该室与其他相邻环境的压差仍应符合相关规定。

　　4 当被测对象没有压差控制标准时，其结果应符合下列规定：

　　洁净室与非洁净室之间的静压差应大于10Pa;相邻不同洁净度级别洁净室之间的静压差应大于5Pa;洁净室与室外静压差应大于12Pa。

　　5 当有排风时，测定值应为最大排风时的数值。

　　16.4.4 扫描检漏应按附录D检验，并应符合下列规定：

　　当用2.83L/min或28.3L/min粒子计数器扫描发现有非零的漏泄特征数字时，应立即定点检漏1min，如出现等于或大于3粒/min的读数，即判定为漏。必要时可定点测2次。

　　16.4.5 空气洁净度级别应按附录E检验微粒计数浓度，然后按以下程序计算出空气洁净度级别并评价。

　　3 判断洁净度级别时，应计算到小数后1位，按0.1级递增。

　　16.4.6 室内甲醛浓度分上午、下午共测2次，应按附录E检验，每次结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T 18883不大于0.10mg/m2的规定。

　　16.4.7 室内空气温度、相对湿度应按附录E检验，结果应符合下列规定：

　　1 无恒温恒湿要求的场所：温度和相对湿度应符合设计或相关标准的要求。

　　2 有恒温恒湿要求的场所：90%以上测点都达到的、各测点各次温度偏离控制点的最大值，为该室室温波动范围，不应超过设计要求;90%以上测点都达到的、各测点平均温度与各测点中最低或最高一次温度的偏差值，为该室区域温差，不应超过设计要求。

　　3 相对湿度波动范围可按室温波动范围的原则确定。

　　4 测量值应通过调试尽量达到测定时气象条件下静态能力的极值，如建设方有要求，可在动态下复核。

　　5 用于最终评价的温度和相对湿度测定值应为气象条件最不利的冬季和夏季的测定值。

　　16.4.8 室内噪声应按附录E检验，室平均噪声值或混合流洁净室时的单向流区与非单向流区的各自平均噪声值，应符合被测对象的噪声控制标准的要求。没有控制标准时，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的规定。

　　16.4.9 室内照度和照度均匀度应按附录E检验，工作面上最低照度值和照度均匀度应符合被测对象的照度控制标准的要求。没有控制标准时，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的规定。

　　16.4.10 室内浮游菌浓度和沉降菌浓度应按附录E检验，各点平均值或一点最大值应符合设计或相关标准的要求。

　　16.4.11 当对室内单向流品质作细致确认时，可测流线平行性。流线平行性应按附录E检验，在工作区内气流流向偏离规定方向的角度不大于15°。

　　16.4.12 当对室内振动影响作细致确认时，可测室内微振。室内微振应按附录E检验，纵、横和垂直三个方向的振幅均应符合设计或相关标准的要求。

　　16.4.13 当对室内表面导静电性能作细致确认时，可测表面导静电性能。表面导静电性能应按附录E检验，表面电阻值和漏泄电阻值应符合被测对象的静电控制标准的要求。没有控制标准时，表面电阻值应为1.0×105Ω～1.0×1010Ω，其中一级标准应为1.0×105Ω～1.0×107Ω，漏泄电阻值应为1.0×105Ω～1.0×108Ω。

　　16.4.14 当对室内气流流型作细致确认时，可测气流流型。室内气流流型应按附录E检验，应绘出流型图并给出分析意见。

　　16.4.15 当对排除室内污染的能力作细致确认时，可测自净时间。自净时间应按附录E检验，实测白净时间不应大于由图E.11.3查出的理论自净时间的1.2倍。

　　16.4.16 当对导致交叉污染的因素作细致确认时，可测气流的定向性。定向流应按附录E检验，应绘出流动方向并给出分析意见。

　　16.4.17 当对洁净室的严密性有特殊要求时，可测其围护结构严密性。围护结构严密性按附录G检验。检验结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，可在以下两表的任何一种评定方法中任选一种方法，两表中最大测试压力设定为500Pa。

　　16.4.21 当对室内空气品质作细致确认时，除装置本身产生的氨浓度应符合现行的相关产品标准规定外，可选测室内氨浓度。室内氨浓度分上午、下午共测2次，应按附录E检验，每次结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.20mg/m3的规定。

　　16.4.22 臭氧浓度的检验应符合下列规定：

　　在风系统内或室内安有可产生臭氧的装置时，除装置本身产生的臭氧应符合现行的相关产品标准规定外，还应在系统和该装置正常运转条件下，检测室内臭氧浓度。应按附录E检验，结果应符合设计要求。当没计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T18883不大于0.16mg/m3的规定。

　　16.4.23 二氧化碳浓度的检测应符合下列规定：

　　当对新风效果作细致确认时，可在风系统正常运行、室内处于动态条件下，于每一班次结束之前检测室内二氧化碳浓度，按附录E检验，结果应符合设计要求。当设计无明确要求时，应符合现行国家标准《室内空气质量标准》GB/T 18883不大于0.10%的规定。

　　16.4.24 当需要测定分子态污染物浓度时，可按附录H的方法或按建设方与检验方商定的方法检测，结果应符合设计要求或双方商定的标准。