5 工艺设计

5．1 一般规定

5．1．1 洁净厂房的工艺设计、工艺布局应为电子产品发展以及产品生产工艺改造和扩大生产预留必要的条件。

5．1．2 洁净厂房工艺设计应确定各种生产条件，在满足电子产品生产要求的前提下，应做到安全性能好、建设投资少、能量消耗少、运行费用低、生产效率高。

5．1．3 洁净厂房工艺设计应根据产品生产工艺和空气洁净度等级要求设置人流路线、物料运输和仓储设施。

5．2 工艺布局

5．2．1 洁净厂房的工艺布置应按产品生产工艺流程、洁净室的气流流型、工艺设备的安装和维修、物料运输等要求确定。
在单向流洁净室内进行生产工艺设备、操作程序、人员流动路线和物料传输布置时，应采取避免发生气流干扰和交叉污染的措施。

5．2．2 工艺布局应避免人流和物流之间的混杂和交叉，宜分别设置人员入口、物料入口和设备出入口，并应在各自的入口处设置相应的净化设施。

5．2．3 在满足生产工艺和微振控制、噪声控制等要求的前提下，空气洁净度严格的洁净室(区)宜靠近空调机房布置；空气洁净度等级相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 洁净室(区)内要求空气洁净度严格的工序(设备)应远离出入口和可能干扰气流的场所设置，并宜布置在上风侧；易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置或下风侧。

5．2．5 工艺布置时，应根据大型生产工艺设备的运输、安装、维修的要求设置运输通道、安装口或检修口。

5．2．6 洁净厂房内不同空气洁净度等级的洁净室(区)之间联系频繁时，应采取防止污染的措施。

5．3 人员净化

5．3．1 人员净化用室和设施应根据洁净室的规模、空气洁净度等级设置，并应设置生活用室。人员净化用室宜按图5．3．1的人员净化程序进行布置。

5．3．2 人员净化用室，应根据换鞋(净鞋)、更外衣、更洁净工作服等的需要设置。雨具存放、厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空气吹淋室、气闸室、洁净工作服洗涤间及干燥间等其他用室，可根据需要设置。

5．3．3 洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积，应根据洁净室的规模、空气洁净度等级和洁净室内工作人员数量等确定，宜按洁净室(区)内设计人数平均2～4m2／人计算。

5．3．4 人员净化用室和生活用房的设置，应符合下列规定：
1 净鞋设施应设在洁净室入口处；
2 更换外衣和更换洁净工作服用室不应设置在同一房间内；
3 外衣存放柜应按洁净室(区)内设计人数配置；
4 应设置存放洁净工作服，且带有空气净化的存衣设施；
5 应设置感应式洗手和烘干设施；
6 厕所宜设在进入人员净化用室之前，需设在人员净化用室内时，应设置前室。

5．3．5 洁净厂房空气吹淋室的设计，应符合下列要求：
1 在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
2 吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位；
3 单人空气吹淋室，应按最大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
4 空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施；
5 空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区)，宜设气闸室。

5．3．6 人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级，宜由外至内逐步洁净，室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。
洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级；当设有洁净工作服洗涤室时，洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。

5．4 物料净化

5．4．1 洁净室(区)内的设备和物料出入口，应独立设置，并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应物净设施。

5．4．2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。

5．5 设备及工器具

5．5．1 洁净室(区)内应采用具有防尘、防污染的生产设备和辅助生产设备，并应符合下列要求：
1 表面应光洁、易清洁、不积尘、不挥发化学物质；
2 设备的传动部件等应密封性能好，并应防止润滑油、冷却剂等的泄漏；
3 对生产中发尘、排热量大或排出有毒、可燃气体的设备，应采取防扩散措施；
4 设备的金属外壳应设置接地设施。

5．5．2 当设备安装在跨越不同空气洁净度等级的洁净室(区)时，宜采取密封隔断措施。

5．5．3 洁净室(区)内的设备宜选用低噪声产品。当所选设备超过洁净室噪声容许值时，应采取隔声措施。

5．5．4 洁净室(区)应设置对电子产品生产过程所使用的工器具进行净化处理的设施。

5．5．5 洁净室(区)内，电子产品生产过程中各种零、部件存放和传送，宜采用专用容器。用于存放和传送的专用容器，应符合下列规定：
1 制作材料应光洁、不吸湿、不锈蚀、不散发污染物、防静电，并在空气中不应被氧化；
2 应密封性能好；
3 当存放物有严格的洁净度要求时，宜充填高纯度或干燥氮气；
4 构造、外形应满足生产工艺要求，并应方便操作和运送。

5．5．6 洁净室(区)内设置真空泵时，应符合下列规定：
1 使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统；
2 对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20％时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分；
3 传输易燃、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。