电子光学净化车间的规划制作的意图，是要对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需求进行控制。

　　一、分包施工

　　电子光学半导体等净化车间厂房内施工是归纳性项目，专业众多，涉及到制冷、供热、纯水、压空、真空、空调、工艺冷却水、氮气、氧气、消防、变配电、自控、通讯、净化装修等，每个专业都不可或缺，每个专业又对其他专业及归纳工程产生影响，切忌各个专业各自为营，建议一致协调，采用EPC总承揽方法进行施工。

　　二、净化空调设备

　　净化车间，尤其是电子光学净化车间，换气次数：100000级≥15次;10000级≥20次。换气次数、新风量的高要求，因而新风处理所需冷量耗费大;送风量大，运送动力耗费大，风机管道温升高;生产设备的发热量大，耗费冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。

　　因而，净化空调体系节能办法应从削减新风量(削减排风量);控制送风量(合理确认换气次数);充分利用回风量;挑选低阻力高效率的空调和净化设备和可变风量的风机等入手。挑选合适净化空调设备，成为电子光学净化车间规划、制作及后期运转的关键要素，一定要严厉关注。

　　三、静电

　　静电容易引起电子设备故障，导致电磁搅扰;促进电路和电子元件老化;吸附尘埃，降低成品率。电子光学净化车间，从开始规划，就需求给静电安排满意的重视，这是每一个暖通工程师的基本内容。可是，许多工程师只从温湿度上下手，而疏忽了其他方法的应用。

　　一般常见的以为高湿度能够解决静电问题，因而不用考虑其它降低静电产生的方法，事实上是不正确的。高湿度虽能够将洁净车间产生之静电降低到人体无法触摸感应到，可是仍足以将灵敏组件毁损。因而，除了给满意的湿度以外，必须采取适当的防护办法，如导电地板、导电蜡等;洁净车间人员须穿上具静电散失材质鞋底的静电鞋，穿防静电服装。除了这些，还能够在净化车间进口安装除静电装置，最大程度上削减静电的损害。

　　四、盲目推高洁净度

　　净化车间的造价，受多方面要素影响，如品牌定位、职业、净化等级、空调及末端体系、地面资料、隔间资料、天花板资料、照度等。以电子光学净化车间为例，净化等级越高，其他相应的定位也会随之提高。

　　电子光学净化车间的规划制作，不是一了百了，而是长期的本钱开销。同理，净化等级越高，后期的运转、保护本钱也相应提高。净化等级的定位应根据生产设备参数、生产产品所需求的洁净度来确认。

　　明确净化车间生产设备的参数，制定出满意本身需求的车间面积、层高、温湿度和洁净度要求，再找专业的公司规划出一套合理的归纳净化方案。