7 空气净化和空调通风设计

　　7.1 一般规定

　　7.1.1 洁净厂房内各洁净室(区)的空气洁净度等级，应根据电子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。

　　7.1.2 气流流型应根据各洁净室(区)空气洁净度等级和电子产品工艺特点的不同要求选用。

　　7.1.3 有下列情况之一者，净化空调系统宜分开设置：

　　1 运行班次或使用时间不同;

　　2 生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产品质量或操作人员健康、安全有影响;

　　3 对温、湿度控制要求差别大;

　　4 洁净室(区)内工艺设备发热相差悬殊;

　　5 净化空调系统与一般空调系统;

　　6 系统风量过大的净化空调系统。

　　7.1.4 洁净室(区)内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2.3条的规定。

　　7.1.5 洁净室(区)内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

　　7.1.6 洁净室(区)与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：

　　1 各洁净室(区)与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定;

　　2 不同等级的洁净室(区)之间的静压差应大于等于5Pa;

　　3 洁净室(区)与非洁净室(区)之间的静压差应大于5Pa;

　　4 洁净室(区)与室外的静压差应大于10Pa。

　　7.1.7 洁净室(区)维持静压差值所需的压差风量，宜采用缝隙法或换气次数法确定。

　　7.1.8 送风、回风和排风系统的启闭联锁、控制要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

　　7.1.9 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化处理。

　　7.1.10 洁净室(区)的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级等因素确定。洁净室(区)宜采用移动式高效真空吸尘器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷。

　　7.2 气流流型和送风量

　　7.2.1 气流流型的设计，应符合下列要求：

　　1 气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流;空气洁净度等级为6～9级时，宜采用非单向流;

　　2 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。

　　7.2.2 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

　　7.2.3 洁净室(区)所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和气流流型，宜按表7.2.3计算。

　　7.3 净化空调系统

　　7.3.1 洁净厂房中的净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。

　　净化空调系统的型式应根据洁净厂房的规模、空气洁净度等级和产品生产工艺特点确定。洁净室(区)面积较小或只有局部要求净化时，宜采用分散式净化空调系统，

　　7.3.2 洁净厂房的洁净室(区)送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室(区)使用功能和降低能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的送风方式。

　　7.3.3 净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑或其他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。

　　7.3.4 多套净化空调系统同时运行或较大型电子工业洁净厂房的净化空调系统的新风，应集中处理。

　　7.3.5 净化空调系统设计应合理利用回风，但下列情况不得回风：

　　1 在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时;

　　2 采用局部处理不能满足卫生要求时;

　　3 对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。

　　7.3.6 净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电加热器，且应布置在高效过滤器的上风侧，并应采取安全保护措施。

　　7.3.7 净化空调系统的电加湿器应采取安全保护措施。

　　7.3.8 根据气象条件，存在冷冻可能的地区，新风系统应采取防冻保护措施。

　　7.4 空气净化设备

　　7.4.1 空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：

　　1 空气过滤器应根据空气洁净度等级选用;

　　2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量;

　　3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段;

　　4 高效(亚高效)空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端;超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端;

　　5 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近;

　　6 同一净化空调系统内末端安装的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近;

　　7 对化学污染物有控制要求的洁净室(区)，在净化空调系统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置;

　　8 高效(亚高效、超高效)空气过滤器应采用不燃或难燃材料制作。

　　7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求：

　　1 应根据空气洁净度等级和送风量选用;

　　2 应按洁净室(区)内生产工艺对气流流型的要求布置;

　　3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;

　　4 送风量应能调节;

　　5 应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时，外壳强度应满足检修要求。

　　7.4.3 层流罩的设置应符合下列要求：

　　1 洁净室(区)内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层流罩;

　　2 层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选用;

　　3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的规定;

　　4 安装方式不应影响生产操作。

　　7.4.4 微环境装置的设置应符合下列要求：

　　1 当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置;

　　2 微环境装置宜与生产工艺设备配套;

　　3 在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外表面应平整、光滑;

　　4 围挡构造、材料的选用应方便生产操作。

　　7.4.5 干表冷器的设置应符合下列要求：

　　1 安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定;

　　2 迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定;

　　3 冷冻水进水温度，宜高于洁净室(区)内空气的露点温度;

　　4 应设置排水设施。

　　7.4.6 净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要求：

　　1 应有良好的气密性，漏风率不得大于1%;

　　2 整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外表面不应结露;

　　3 布置应整齐，并应便于运行和维修;当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时，宜选用相同规格的空气处理机组;

　　4 送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5～2.0倍取值;

　　5 应设置排水装置。

　　7.5 采暖、通风

　　7.5.1 空气洁净度等级严于8级的洁净室(区)不应采用散热器采暖。

　　7.5.2 洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，应设置局部排风装置，排风罩宜为密闭式。局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

　　7.5.3 洁净室(区)的排风系统设计，应符合下列要求：

　　1 应防止室外气流倒灌;

　　2 含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施;

　　3 局部排风系统排出的有害气体，当其有害物质浓度超过排放标准时，应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定;

　　4 对含有水蒸气或凝结物质的排风系统，应设置坡度及排放口;

　　5 排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排风机和处理设备，并应设置应急电源;

　　6 排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，应设置备用排风机，并应设置应急电源;

　　7 排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下，风管内爆炸危险气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20%计;

　　8 排除有爆炸危险气体和粉尘的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。

　　7.5.4 对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路，应保持相对于路由区域一定的负压值。

　　7.5.5 净鞋室、更外衣室、盥洗室和厕所等生产辅助房间，应采取通风措施。

　　7.5.6 洁净室(区)事故排风系统的设计，应符合下列规定：

　　1 事故排风区域的换气次数不应小于12次/h;

　　2 应设置自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设置在洁净室(区)和洁净室(区)外便于操作的地点;

　　3 应设置应急电源。

　　7.6 排 烟

　　7.6.1 洁净厂房中的疏散走廊，应设置机械排烟设施。

　　7.6.2 洁净厂房排烟设施的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。当同一防火分区的丙类洁净室(区)人员密度小于0.02人/m2，且安全疏散距离小于80m时，洁净室(区)可不设机械排烟设施。

　　7.6.3 机械排烟系统宜与通风、净化空调系统分开设置;当合用时，应采取防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　7.6.4 机械排烟系统的风量、排烟口位置、风机的设置，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。

　　7.7 风管、附件

　　7.7.1 净化空调系统的新风吸入管应设置防倒灌装置;送、回风管宜设置调节阀。

　　7.7.2 净化空调系统风管的防火阀的设置，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073的有关规定。

　　含有可燃、有毒气体或化学品的排风管道，不得设置熔片式防火阀。

　　7.7.3 净化空调系统的风管、配件、过滤器以及密封材料等，应根据输送空气的洁净度要求确定，并不得采用释放对电子产品有影响物质的材料。

　　7.7.4 洁净室(区)内排风系统的风管、阀门、附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的物理化学性质及其所处的空气环境条件确定，并不得与所输送介质发生化学反应或引起安全事故的发生。

　　7.7.5 净化空调系统的送、回风总管上，应采取消声措施，并应满足洁净室(区)内噪声控制的要求。洁净室(区)排风系统，应采取消声措施，并应满足室内外噪声标准的要求。

　　7.7.6 在集中设置的空气过滤器的前后，应设置测压孔或指针式压差计。在新风管、送风、回风总管段上，应设置风量测定孔。

　　7.7.7 风管附件及辅助材料的防火性能，应符合下列规定：

　　1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料制作，但接触腐蚀性介质的风管和柔性接头可采用难燃防腐材料制作;

　　2 排烟系统的风管应采用不燃材料制作;

　　3 附件、保温材料和消声材料等均应采用不燃材料或难燃材料。